ML-300 直接在 3D 曲面玻璃蓋板進行高精度曝光，為客戶帶來高分辨率，高效率及高良率的產品，穩(wěn)定的冷卻系統(tǒng)，確保設備內部保持 22℃的恒溫狀態(tài)，保障了設備的穩(wěn)定。成功地將集成電路用的微細工藝“負性光刻膠”工藝制造技術，運用在 3D 曲面玻璃蓋板生產上。
此工藝制造技術，將提升 3D 曲面玻璃蓋板生產一次性良率，可高達 95%以上， 圖案更精細，色彩還原度更佳。有效改善原傳統(tǒng)絲印良率低、返工率高、線寬粗等弊端。
| 產能 | 良率 | 兼容性 | 打樣成品 |
|---|---|---|---|
| 1200 pcs/h | ≥95% | 高于 所有傳統(tǒng)工藝 | 低于 所有傳統(tǒng)工藝 |
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光罩曝光機（使用油墨上色）
GIS-DLP（使用光阻上色）
GIS-DLP（使用光阻上色）
利用TI的圖形發(fā)生器-數(shù)字微鏡器件（DMD）芯片來產生數(shù)字圖像, DMD由80萬或200萬個微鏡組成，在DMD光斑范圍內，能保證清晰和銳利的方形網點。這種最新的數(shù)字曝光系統(tǒng)已成為業(yè)界新標準。
工業(yè)級別375納米耦合激光器，自主研發(fā)了激光成像系統(tǒng)，將375納米耦合激光器激光利用率 從傳統(tǒng)的30%提高至50%
DLP（Digital light processing）光學系統(tǒng)采用UV激光光源，輸出的激光通過特種準直鏡頭實現(xiàn)對DMD的高均勻照明，最后通過投影鏡頭實現(xiàn)圖形的輸出。投影鏡頭為采用紫外特種光學材料的雙遠心鏡頭，具有低畸變，高透過率的特點。
±1μm運動控系統(tǒng)；運動誤差實時補償系統(tǒng)
該方案是用于生產3D蓋板玻璃加工需求，適用于曲面蓋板玻璃工藝；附帶相應配合設備，包括全線配備自動上/下料機、平板/等離子清洗機、自動噴涂機、遂道式表干線、直寫式激光曝光機、顯影/清洗機、遂道式固烤線或立式烤箱等輔助設備；高分辨率，高生產率，高產量，更薄的厚度，更高的質量（外觀）低成本；3D Glass LDI適用領域：可穿戴產品，汽車產品，手機產品，家用電器行業(yè)等
| 等離子清洗 | 3D光阻噴涂 | GIS曝光 | 顯影 | 固化 | 成像 |
|---|---|---|---|---|---|
| 玻璃表面清潔 | 噴涂控制單次膜厚 3μm±0.05 | 公差±0.05mm | 低殘留顯影，控制顯影效果 | 立體烤箱, 溫度均衡控制 | 清洗后包裝覆膜 發(fā)往客戶端 |
| 規(guī)格參數(shù) / 型號 |
GL300
GL350
|
|---|---|
| 應用領域 | 傳統(tǒng)2.5D和3D蓋板 |
| 外觀尺寸mm(可訂制 ) | 2273x1990x1771 |
| 曝光時間CT/pcs | 7.5s |
| 最大曝光面積(可訂制 ) | 610x530mm |
| 可接受光刻膠厚度 | 1-15um (常規(guī)6um) |
| 額定電壓 | 單相 220V/50HZ 接地良好 |
| 額定壓縮空氣壓力 | 0.8 Mpa |
| 激光輸出波長 | 375nm±10nm |
| 激光傳輸方式 | 光纖 |
| 感光材料 | 光刻膠 |
| 圖像解析分辨率 | 12700dpi |
| 最大功率 | 4KW (Laser 6w ) / 4.5KW (Laser 9w ) |
| 輸出激光功率 | 6W (±3%)/ 9W (±3%) |
| 輸入文件格式 | Gerber274X |
| 曝光精度 | 30±5μm |
| 產品多層套位精度 |
40um
20um
|
| 油墨邊緣鋸齒 | ≤10μm |
| VA區(qū)長寬尺寸公差 | ±40um |
| 位置偏差 | ≤50um |
| 硬件重復精度 | ±8um |
*如有規(guī)格變更恕不另行通知
